实时测量308nm激光对薄膜的损伤阈值

？用散射光法,建立了一套实时监视与测量308nm激光对全反膜和增透膜的损伤的实验装置。实时观察到了损伤从起始、加深直至饱和的整个过程的波形。用这一装置测量了全反膜和增透膜在308nm激光作用下的损伤阈值。测得全反膜在0°与45°入射角时的损伤阈值分别为1.7与1.0j/cm2。而增透膜的阈值为1.3j/cm2。