sio2半波覆盖层对hfo2/sio2高反膜激光损伤的影响

？研究了sio2半波覆盖层对hfo2/sio2高反射膜1064nm激光损伤的影响，分析薄膜的激光损伤特性及图貌得出,对于单脉冲（1-on-1）激光损伤，sio2半波覆盖层能提高hfo2/sio2高反膜的激光损伤阈值；可显著降低激光损伤程度，减小灾难性损伤发生的概率；可大幅度提高hfo2/sio2高反膜膜的抗激光损伤能力。