980nm半导体激光器n型波导结构优化

？为了提高980nm半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角,在非对称波导结构的基础上设计了n型波导结构,即在n型波导中引入高折射率的内波导层。采用理论计算和simlastip软件模拟对常规非对称波导结构和内波导结构进行了研究。利用分子束外延系统生长980nm内波导结构的外延材料,并制作了激光器。对于条宽为100μm、腔长为1000μm的器件,阈值电流为97ma,斜率效率为1.01w/a；当注入电流为500ma时,远场发散角为29°(垂直向)×8°(水平向),与模拟结果相符。理论计算和实验结果表明：较之于常规非对称波导结构,内波导结构可有效降低光场限制因子,提高输出功率,减小远场发散角。