用于第一镜表面的金属玻璃薄膜研究

？为解决大口径非晶金属第一镜实现难题，在研究块体金属玻璃co61.2b26.2si7.8ta4.8材料基础上，采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材，通过非平衡磁控溅射镀膜方法，实现了co61.2b26.2si7.8ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明：通过成分设计及合成靶材的设计，能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜；通过cr成分改进，能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。