基于经验模态分解-wigner分布的光学元件中频误差识别

？对于大尺寸高精密光学元件，不仅要对光学元件表面低频面形精度和高频粗糙度进行控制，还需要严格限制中频误差，以保证其使用性能和稳定性。为了确定光学元件的不合格区域并指导其返修，引入经验模态分解(emd)和wigner分布(wvd)函数方法，通过理论分析确定该方法与功率谱密度函数间的关系，实现对光学元件表面中频误差的辨识与定位。实验结果表明：emd-wvd方法不仅可以识别分布在实验光学元件表面15~27mm空间频率为0.1mm-1的中频误差，还可以减小多分量信号所引起的空间频率为1.0~1.5mm-1的交叉项干扰，提高中频误差辨识的准确率。