短脉冲激光打靶用溅射防护薄膜的光学性质

？针对短脉冲激光打靶用溅射防护聚合物薄膜做了初步研究。研究了氟化乙丙共聚物(fep)、全氟烷氧基共聚物和乙烯-四氟乙烯共聚物三种厚度均为25μm的聚合物薄膜的透过率,结果表明fep薄膜在355nm处光透过率达93%,有望用于激光打靶的溅射防护。进一步对fep聚合物薄膜的波前畸变、激光损伤阈值进行了研究,结果表明80mm的聚合物薄膜在632.8nm处的透射波前畸变的峰谷值（pv值）为波长的1.006倍;在采用输出波长355nm,脉冲宽度9.3ns的nd:yag激光为照射光源波长处,薄膜零损伤概率时的最高激光能量密度为10.35j/cm2,100%损伤概率时的最低激光能量密度为11.48j/cm2。？