激光触发能量对横向结构4h-sic光导开关导通电阻的影响

？采用钒掺杂半绝缘4h-sic衬底，利用磁控溅射在硅衬底上制备了ni/au金属电极，并封装加工成同面型横向电极结构sic光导开关，研究了不同激光触发能量对光导开关光电响应及导通电阻的影响。用波长532nm的激光作为触发源，当激光触发能量从26.7mj增加到43.9mj时，光导开关的导通电阻从295ω降低到197ω。利用复合理论推导出激光触发时导带中载流子浓度随时间的变化规律，并利用matlab模拟计算了不同触发能量下开关的导通电阻，得到了与实验较一致的结果。在此基础上，提出了降低开关导通电阻的两种途径。