气相沉积法制备聚酰亚胺微球的均匀性及性能

？摘？要:？为满足惯性约束聚变(icf)对聚酰亚胺(pi)靶丸的要求，研究了气相沉积过程单体加热温度对pi薄膜厚度的影响并测试其均匀性，测试了脉冲敲击模式下复合微球的表面质量。研究了薄膜热环化过程中的结构变化，并对所得pi薄膜进行了热稳定性分析。研究结果表明：脉冲敲击下制备所得复合微球表面粗糙度均方根值波动在29~45nm之间，在相同时间内其薄膜厚度随单体加热温度的增加而增加，通过调节不同单体加热温度，可将薄膜厚度控制在一定范围；薄膜厚度测试发现其较为均匀，横向和纵向各点厚度相差不足1μm；热环化后聚酰胺酸转化为pi，conh与cooh结合形成c-n键；热重分析数据显示pi薄膜热稳定性较好，600℃左右才开始大量分解。