柔性变焦镜的理论计算和设计

？设计了由压电陶瓷施压的柔性变焦镜的结构。根据弹性力学建立了相应的数学模型，采用有限元法计算了镜面受力的挠变形值。当柔性变焦镜最大挠度为9μm时，镜面的曲率半径从610mm变至590mm，此时采用环形筋条结构的反射镜镜面和理想球面的面形偏差pv值仅为1μm，面形相对偏差为0.3%。