schwarzschild物镜装卡应力对光学元件面形的影响

？为了实现接近衍射极限的分辨率，工作在极紫外波段的schwarzschild物镜要求其光学元件的面形精度达到约1nm（rms值）；而在物镜的装配过程中，装卡产生的应力会影响光学元件的面形精度，定量计算装卡应力对元件面形的影响是获得高分辨率成像的关键。在光学设计、公差分析的基础上，采用有限元模型系统地分析了应力对schwarzschild物镜光学元件面形精度的影响。结果表明：采用自行设计的物镜结构，应力对主镜面形的影响可以达到0.7nm，而对副镜的影响可以忽略；应力所产生的光学元件面形变化会使系统的几何传递函数(5000lp/mm)从0.76下降到0.61。