微透镜阵列误差对半导体激光匀化性能的影响

？为了减小微透镜阵列误差对匀化光斑的影响，深入研究微透镜阵列光束匀化系统中微透镜阵列相对位置误差对光束匀化性能的影响，设计了一种微透镜阵列光束匀化系统。依据相对位置误差类型的不同，将双列微透镜阵列间六个自由度变化导致的误差分为距离误差、偏移误差以及转动误差进行分析，并对每种误差对光束匀化性能的影响进行了研究。采用6板条条半导体激光器堆栈对上述匀化系统进行实验验证，实现了均匀性为90.75%的光斑，并对系统影响光斑性能的原因进行了分析。