复合样品厚度参数同步辐射测量方法

？薄膜样品在实验研究领域要求样品的厚度测量精度非常高，但由于样品质量小，采用称重的方法，测量精度较差。在北京同步辐射装置的中能（4b7a）和低能（4b7b）束线上（光源能区为0.1～6.0kev，能量分辨大于1000），采用材料对单能光子的透过率来确定样品的质量厚度，通过不同能点的测量值进行不确定度分析，提高测量精度，降低不确定度。利用该方法开展了复合样品厚度的测量方法研究，给出了有ch衬底的薄膜样品的厚度，通过不确定度分析得出，薄膜样品厚度的测量不确定度小于1％。