材料表面处理用强流电子回旋共振离子源

？介绍一台2.45ghz永磁强流电子回旋共振离子源，其外径160mm，高90mm，放电室直径70mm，高50mm。微波馈入采用介质耦合方式，微波窗由一块f50mm×10mm柱形bn和两块f30mm×10mm的柱形陶瓷构成。离子源工作在脉冲模式下，采用三电极引出系统，最高引出电压达到100kv，在微波输入功率300w、进气量0.4ml/min时，可引出峰值超过30ma的氮离子束，在距离离子源引出孔1200mm位置处的束流均匀区直径大于200mm。