2.5kev能点多层膜kb显微镜成像性能

？研究了kirkpatrick-baez（kb）显微镜成像系统的结构设计、元件制备。通过分析掠入射角、放大倍数和反射镜曲率半径对成像系统调制传递函数（mtf）的影响，确定了kb显微镜系统的初始结构参数，实现了2.5kev能点多层膜kb显微镜的设计、制备以及装调，在神光ⅱ强激光装置上完成了像质标定实验。结果表明:2.5kev能点多层膜kb显微镜在100μm视场内观测周期为20μm平面调制靶时的mtf高于0.6，与omega装置同类型kb系统的空间分辨能力相当，明显优于现有的针孔相机和点投影成像技术。该显微镜与条纹相机配合，已成功实现对短扰动波长平面调制靶烧蚀演化行为的动态诊断。