400mm口径平面窗口元件中频误差控制技术

？针对高功率激光装置所需的大口径光学元件，进行了小工具数控抛光中频误差控制工艺研究。对数控加工过程中卷积效应对中频误差的影响进行分析，并建立了残余误差分析模型，对卷积效应所引入的残余误差进行定量分析。利用该模型对中频误差修正工艺参数进行了仿真分析，并进行了修正工艺参数实验验证，确定了全面匀滑最优化参数。在最优化工艺参数的基础上，针对大口径光学元件开展了数控抛光中频误差控制工艺实验验证，使400mm口径平面窗口元件加工精度达到透射波前pv值为0.27λ，透射波前psd1rms值为1.67nm。该实验结果表明，通过400mm口径平面窗口元件的中频psd1控制技术研究，使窗口元件能够达到高功率激光装置对中频psd1的指标要求。