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ISSN: 2333-9721
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点火黑腔用铝铜复合芯轴的制备及性能

, PP. 3255-3258

Keywords: 惯性约束聚变,铝铜复合芯轴,磁控溅射,表面粗糙度,结晶性能

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Abstract:

?选取纯度较高的1100铝棒作为加工模芯的原材料,利用金刚石车床精加工出表面粗糙度均方根值小于20nm的铝模芯,采用磁控溅射的方法在铝模芯上制备厚度大于5μm的铜防护层,得到铝铜复合芯轴。对制备的铜防护层的表面微观结构、结晶性能、厚度一致性进行了分析测试,结果表明磁控溅射法制备的铜防护层沿(111)面择优生长,表面粗糙度均方根值小于30nm,厚度一致性优于95%,圆柱度小于1μm。镀层与基底结合力强,可满足大厚度黑腔涂层的制备需求。

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