中等口径光斑激光预处理

？介绍了一种基于中等口径光斑的新型激光预处理技术。采用基频最大输出10j的nd:yag调q激光器，获得了直径5mm、能量密度满足预处理需求的中等口径光斑。较之于小光斑处理方案，采用中等光斑进行扫描，可以显著压缩大口径光学元件的预处理总耗时。为了验证效果，搭建了实验平台，在陪镀片上开展了光斑扫描与损伤阈值测量实验，设计了合理的中等光斑预处理流程，并对阈值提升效果进行了验证。在此基础上，开展了正式元件的预处理实验，采用大行程二维电动位移台，对430mm×430mm口径的金属铪蒸发工艺高反膜元件进行了夹持和扫描。实验结果表明，经处理后的高反薄膜元件初步达到了27j/cm2的阈值水平，证明了该技术对薄膜抗损伤能力的提升效果。