小型铌酸锂多功能集成光学器件

？为满足小型光纤陀螺对光学器件小体积的要求，对铌酸锂多功能集成光学小型化器件的结构做了分析和优化设计。采用bpm软件分析了y形分支波导的s形波导损耗与弯曲长度及折射率差的关系。通过调整退火质子交换的工艺参数，增加了波导对光的束缚能力；降低了小型化芯片上s形波导的弯曲损耗；去掉了原有y形波导的输出端直波导，直接由s形弯曲波导引至输出端，在更短的芯片上得到了更长的弯曲过渡区。设计制作的芯片长度由常规的20mm减至12.5mm，封装后的器件长度减小到20mm，为目前同类常规器件尺寸的2/3。设计制作的器件插入损耗典型值小于2.5db，全温损耗变化量小于0.2db。