新型跑道腔式束流位置监测器

？系统提出了一种新的腔式束流位置监测器（bpm），即跑道型腔式bpm，并使用微波工作室软件进行了理论研究和模拟计算，提出了通用设计方法。跑道型腔式bpm的金属腔部分具有跑道形横截面，引出束流位置偏移激励起的一对偶极模式作为束流位置信号。该方案的偶极模式极化方向固定，频率分离，可以解决随机误差产生的横向串扰问题，其理论位置分辨力可以达到15nm。