熔石英亚表面横向划痕调制作用的3维模拟

？建立了熔石英后表面3维横向划痕模型，并采用3维时域有限差分方法对熔石英亚表面划痕周围的电场强度进行了数值模拟，分析了划痕宽度、深度、长度以及划痕倾斜角度对入射光场的调制作用，结果表明：随划痕深度和划痕长度的增加，熔石英内的最大电场强度增大，且当划痕长度达到1μm以上时，最大电场强度趋于稳定；划痕结构因子在1～2之间的划痕较容易引起熔石英损伤；而入射激光在划痕界面和后表面之间发生内全反射时，后表面上的光强增强效果更加明显，因此减少角度范围在20.9°～45°之内的划痕能大幅提高熔石英的损伤阈值。