预处理对355nm激光作用下熔石英损伤增长的影响

？测试了经化学蚀刻、紫外激光预处理及其共同处理后的熔石英355nm激光损伤阈值；研究了处理前后其损伤斑面积随激光辐照脉冲数的增长情况。结果表明，处理后熔石英355nm激光损伤阈值得到了提高，且损伤斑面积增长变慢。利用co2激光对熔石英表面损伤点进行了修复处理，修复后的损伤点r-on-1抗损伤阈值和基底阈值相当，损伤增长得到有效抑制。