langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度

？为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响，用langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断，采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线，根据druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数，分析了它们随实验参数的变化规律。结果表明：射频输入功率、气压和约束磁场对等离子体状态有较大影响。随着射频射入功率增大，放电模式发生转变，电子密度跳跃增长；随着气压增大，电子密度先增大后减小，1.5pa为最佳电离气压，随约束磁场的增强呈线性增长；有效电子温度随功率和气压的增大而下降，随约束磁场的增强线性降低，电子能量几率函数曲线峰位和高能部分都向低能移动，与有效电子温度变化规律吻合。