多层膜界面结构探测技术

？分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料，采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的zro2和sio2溶胶。用旋转镀膜法在k9玻璃上分别制备了sio2单层膜、zro2单层膜和zro2/sio2/zro2三层膜。采用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率，用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透过率，利用tfcalc_demo模系设计软件，采用三层理论模型对薄膜的透过率进行模拟，用扫描电镜(sem)观察了三层膜的断面结构，用x射线光电子能谱仪(xps)测量了薄膜的成分随深度方向的变化，进一步验证了zro2/sio2/zro2三层膜之间的渗透关系，同时对多层膜的界面结构探测方法起到了借鉴作用。