新型大气压微波等离子体炬的仿真研究

？设计了一种新型的大气压微波等离子体炬结构。入射主频为2450mhz，基于hfss软件对其进行了仿真研究。在仿真过程中，对该结构的各个参数进行了优化，并得出对场强分布的影响规律。结果表明，探针的使用对腔内场分布有很大影响。根据优化参数对微波等离子体炬进行了仿真模拟，在等离子体发生腔产生了高幅值的电场强度，品质因数达到2×104，可以在大气压下激发等离子体。