x射线kirkpatrick-baez显微镜用超反射镜的研制

？介绍了一种可应用于x射线kirkpatrick-baez（kb）显微镜的光学元件—x射线超反射镜。选用的w和b4c作为镀膜材料，膜对数为20，采用单纯型调优的方法实现了x射线超反射镜设计，用磁控溅射的方法在si基片上完成了w/b4cx射线超反射镜的制备。采用高分辨率x射线衍射仪（8kev）测量了x射线超反射镜的反射特性。制备的x射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处，反射角度带宽为0.3°，反射率达到20%，可满足kb型显微镜的要求。