钛膜的电解抛光技术研究

？分析了硫酸、硝酸、氢氟酸；硫酸、乙酸、氢氟酸；乙醇、正丁醇、氯化锌、氯化铝；高氯酸、乙酸；硫酸、甲醇这５种不同电解液组成对钛薄膜表面粗糙度、表面形貌的影响，得出硫酸、甲醇混合溶液是一种较理想的电解液体系。设置合适的抛光电压、温度、时间、泵速等工艺参数，制备出了表面平整光滑，平均粗糙度小于30nm的钛膜。分析了硫酸、甲醇电解液阳极电压与试样表面减薄速率的关系：试样的减薄速率开始随电压的升高而增大；当电压达到28～34v时，减薄速率随电压变化很慢，当电压继续增大时，减薄速率又会迅速增大，金属膜继续溶解。