x射线反射法测量α:ch薄膜的密度和厚度

？利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜，采用x射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度。实验中分别采用曲线拟合法和周期估算法计算薄膜的厚度，两种方法测得的厚度平均差别为5.5%，一致性较好。利用x射线反射谱的临界角计算所得的7个样品的密度差别较小，在8%之内。