155mm入射距离的xuv平场光谱仪参量设计

？为了缩短掠入射xuv平场谱仪尺寸以方便其使用，利用建立的光路追踪程序优化研究了当入射距离缩短为155mm，聚焦面仍满足平面的条件下凹面光栅的各参量对谱线成像的影响。计算表明,对于曲率半径为5649mm、光栅标称间距为1/1200mm的凹面光栅，当入射距离为155mm，入射角为87.5°，聚焦参量为-21/r，彗差参量为4.655′102/r2时，可以在12~40nm波段内得到优化的成像效果。