大口径连续相位板面形检测与评价

？：基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板（cpp）子孔径拼接检测算法，并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价cpp的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统，并针对430mm×430mm口径cpp开展了数值模拟和检测实验。理论计算结果表明：系统计算误差为0.005nm。实验结果表明,整个检测系统软硬件rms误差小于5nm，基本满足cpp面形检测要求。从而验证了cpp检测和评价的正确性和可行性。