高线密度x光透射光栅衍射效率

？高线密度x光透射光栅是各种高分辨光栅摄谱仪的核心色散元件，为了获得较高的光谱分辨率,工作在2~5kev能区的光谱仪需要使用5000l/mm的x射线透射光栅。为了获得光栅的绝对衍射效率，采用同步辐射光在多个能点对5000l/mm的x光透射光栅进行衍射效率实验标定，通过光栅相对衍射效率拟合获得了光栅结构参数，与光栅结构测量结果非常接近。然后，采用衍射效率的矩形栅线模型，计算得到了光栅的绝对衍射效率。