基于空间相干性控制的环形光源技术

？提出了一种利用二元相位光栅产生环形光源的新方法，并且可以实现环形光源的环半径和环厚度连续或固定可调。阐述了环形光源抑制相干噪声的原理，推导了环形光源半径及干涉腔长度与条纹对比度之间的关系。实验表明：环形光源能保持干涉条纹对比度,同时有效抑制相干噪声，环形光源模式系统的本征噪声峰谷值小于点光源模式，且没有明显“牛顿环”噪声，测量重复性和测量精度都高于点光源模式,从而提高了测量精度。