非链式hf激光器sf6气体介质放电特性

？采用放电图像拍摄和放电波形测量两种方法研究了放电激励hf激光工作介质sf6气体的放电特性。实验结果表明：sf6气体放电可以分为主放电、剩余电压维持和电弧放电3个阶段。主放电阶段为均匀体放电，电容储能大部分在此阶段沉积于放电等离子体中；剩余电压维持阶段无明显放电；在电弧放电阶段激光器以电弧形式消耗剩余储能。通过对放电波形的分析，获得剩余电压及主放电阶段能量沉积效率随充电电压的变化规律。随着充电电压提高，剩余电压下降，沉积效率逐渐提高。沉积效率最大值对应于主放电与电弧放电相接的时刻。