激光直写制作高阶螺旋相位板及其性能

？将拓扑荷为4的螺旋相位光束与平面光干涉的计算全息图输入到空间光调制器中，得到含有多个衍射级次的高阶涡旋光束。为提高衍射效率，利用激光直写技术制作拓扑荷为4的高阶螺旋相位板，经测定，相位板深度理论数值为1.073μm，测量数值为1.082μm，相位板制作误差在0.83%以内。平行光束通过此相位板时，在夫琅和费衍射场获得一个高质量的高阶光学涡旋，光强分布与理论数值基本吻合，衍射效率达到86%。