高精度2×2阵列拼接光栅结构设计

？提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构，采用模块化和框架式结构设计，保证拼接结构的稳定性；设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构，实现拼接光栅微纳量级的调整要求；讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17μm，微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8nm，分辨力为0.9nm，初步光路实验表明，设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度，且稳定时间大于1h。