含氢电极脉冲放电等离子体特性诊断

？利用飞行时间质谱法诊断了含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体成分、离子电荷状态及离子扩散速度等特性。实验结果表明，含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体的离子成分主要由h+,ti+,ti2+和ti3+组成，其中ti2+占主要部分。当放电电流为40～80a时，ti离子的平均电荷数在1.95～2.13之间，随着放电电流的增大，平均电荷数也会增加。同时诊断了不同离子的扩散速度，其值均在104m/s量级，但不同离子的扩散速度有所不同。