基于低通滤波的相位掩模干涉图相位解调方法

？传统的四步相移算法在分析相位掩模干涉图时存在相移值误差、分辨力降低和相干噪声等不足，从而影响了动态干涉仪的性能。为了提高相位掩模干涉图的分析精度，提出了一种基于低通滤波的相位解调方法。该方法根据相位掩模引入相位的空间频率远大于被测相位空间频率的最大值，采用低通滤波的方法提取相位信息。数值分析结果表明，该方法的精度高于传统四步相移算法。分析干涉图的信噪比，合理选择低通滤波器，可进一步提高相位解调的精度。