实用型放电泵浦xef(b-x)准分子激光器

？研制了一台实用型放电泵浦的351nmxef(b-x)准分子激光器，激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构，通过优化储能电容和放电电容量及比值，选取合理的工作气体压力和配比，优化了激光器性能，提高了激光器输出参数:单脉冲能量153mj，平均功率12.9w，转换效率最高达到0.88%，重复频率1~80hz，能量不稳定度小于4%，近场光斑尺寸7mm×22mm。激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(pcb)激光投影成像照明系统的实验中。