一种高功率微波源真空保持研究

？针对一种陶瓷真空界面、天鹅绒阴极和不锈钢外壳的无氧铜压封高功率微波管，利用真空设计软件vactran建立了系统抽气模型，模拟了真空室主要材料放气率和抽气曲线；通过吸气剂简单吸气模型，对保真空过程中吸气剂的吸气行为进行了模拟。实验对比了高功率微波管真空室在常温和烘烤状态下抽真空至10-4pa量级所需的时间。在真空度满足要求后，采用非蒸散型吸气剂（neg）作为吸气泵进行保真空实验，静态下保真空超过30d后，真空度仍维持在2×10-4pa。在此基础上，对保真空状态下的高功率微波管进行加速寿命实验：温度为80℃，累计时间超过140h，真空度仍好于1×10-2pa，据此估计高功率微波管在常温下保持真空度高于1×10-2pa的时间超过1年。