4h-sic肖特基二极管的电荷收集特性

？针对极端环境下耐辐照半导体核探测器的研制需求，采用耐高温、耐辐照的4h碳化硅(4h-sic)宽禁带材料制成肖特基二极管，研究了该探测器对241am源α粒子的电荷收集效率。从电容-电压曲线得出该二极管外延层净掺杂数密度为1.99×1015/cm3。从正向电流-电压曲线获得该二极管肖特基势垒高度为1.66ev，理想因子为1.07，表明该探测器具备良好的热电子发射特性。在反向偏压高达700v时，该二极管未击穿，其漏电流仅为21na，具有较高的击穿电压。在反向偏压为0~350v范围内研究了该探测器对3.5mevα粒子电荷收集效率，在0v时为48.7%，在150v时为99.4%，表明该探测器具有良好的电荷收集特性。