pin限幅器微波脉冲热损伤温度特性

？分析了微波对pin限幅器的热损伤机理，基于器件物理模拟分析法，利用sentaurus-tcad仿真器建立了器件微波热效应模型，研究了频率为5.3，7.5，9.4ghz的微波信号作用下，器件损伤过程中温度瞬态变化规律和瞬态温度分布规律。结果表明：pin限幅器尖峰泄露阶段器件温度上升较快；稳态限幅后温度上升缓慢；临近热击穿状态，器件进入热电失控状态，峰值温度快速上升，最终器件因温度过高烧毁；pin二极管中的i区或p区与i区之间的结边缘处，较容易烧毁。对pin限幅器进行大功率微波注入实验，器件损伤实验结果与数值模拟结果吻合较好。