回流式水冷超薄多层镜的研究

？从理论和实验上讨论了水冷铜镜变形的规律,从而设计出多种多层镜,其中回流式多层镜在0.13mpa通水压力下净吸收86.9w激光功率时,总变形仅0.10μm,约为同等条件下普通水冷铜镜变形量的1/40。