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Keywords: 激光烧蚀,质量烧蚀速率,晶体谱仪,平面层靶
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?叙述了采用时间积分的晶体谱仪探测不同发次衬底元素离子谱线强度的相对变化外推激光烧蚀深度的方法,获取了al和c8h8的激光烧蚀深度,进而推出了al和c8h8的质量烧蚀速率和烧蚀压。对实验结果进行了分析和讨论。
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