全部 标题 作者 关键词 摘要
, PP. 0-0
Keywords: icf,均匀照明,二元光学器件
Full-Text Cite this paper Add to My Lib
?采用不同的优化算法,设计了icf均匀照明二元光学器件。提出了全局/局部联合搜索算法(glusa),对平面输入波获得了旁瓣小、光强均匀的设计结果。完成了16阶浮雕表面结构的位相板的试制加工,并利用光学ct法测量了焦斑光强分布,实验结果表明获得了较好的光强包络,但顶部均匀性还有待进一步提高。将单元器件扩展为阵列器件,增加了对输入光波畸变的宽容度。
Full-Text
Contact Us
service@oalib.com
QQ:3279437679
WhatsApp +8615387084133