波长1064nm脉冲激光高阈值反射膜的研制

？研究hfo2/sio2高反射膜的制备工艺及其激光诱导损伤阈值的比较测试，分别采用了反应蒸镀hfo2、反应离子辅助蒸镀hfo2、反应离子辅助蒸镀金属hf的源材料形成hfo2薄膜。采用这三种工艺制备了hfo2/sio2高反射膜，在中心波长1064nm处，反射率r≥99.5%，其中反应蒸镀hfo2/sio2高反射膜损伤阈值最高，可达60j/cm2(1064nm，5ns)。