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Keywords: krf准分子激光器,轴向绝缘大面积二极管,电子束
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?介绍了撎旃庖缓艛主放大器中的轴向绝缘大面积二极管的设计、机械结构及其特性的实验研究。结果表明,二极管能稳定的工作在峰值电压600kv以上,电流密度能够达到80a/cm2,脉宽(fwhm)220ns,电子束总束能超过25kj。
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