磨削加工光学元件亚表面损伤探究

？对磨削加工的k9材料试件进行亚表面损伤探究，分析磨削加工产生亚表面损伤的原因。分别用亚表面损伤深度预测法、分阶刻蚀法预测和检测元件亚表面损伤深度，并分析切深、工作台进给速度、砂轮转速等参数对亚表面损伤深度的影响。研究表明，分阶刻蚀法直观有效，与亚表面损伤深度预测法的结果一致性较好。在本文实验条件下，自行加工k9试件的亚表面损伤深度随切深增大而加深，随工作台进给速度增大而有所增加，砂轮转速对亚表面损伤深度影响并不明显。