抑制大型折叠腔结构光斑抖动技术的研究

？针对光腔镜盒的真空变形和振动对精密光学系统的影响，分析了传统刚性连接的光学调整架平台以及球关节连接结构在减振降噪设计的不足，从支撑和柔性密封连接的角度，设计了隔离振动和光腔镜盒真空变形的精密光学调整架平台，对应用于大型折叠腔的双层光学调整架平台的动力学特性进行ansys仿真，并完成了光斑抖动验证实验。结果显示框架式双层光学调整架平台的第一阶弹性体频率可达到126.5,172.3hz，很好地满足折叠腔光学调整架平台的使用要求；应用在大型折叠腔，抽真空试验前后he-ne导引光输出光斑位置无变化，形状变化很小，出光过程中输出抖动角均方根值为3.73″，隔离振动传递效果明显。