248nm高反膜抗激光损伤性能

？用电子束蒸发法在熔融石英基底上沉积了适用于248nm的hfo2/sio2高反膜，为提高其抗激光损伤能力，设计并制备了两种保护层，一种是在常规高反膜系的基础上镀制二分之一波长厚度的sio2保护层，另一种是用al2o3/mgf2做保护层。测试了3种高反膜样品的激光损伤情况，通过损伤形貌的变化分析了两种保护层使抗激光损伤能力提高的原因以及存在的问题。