微波脉冲氮气等离子体发射光谱测量

？通过发射光谱测量和拟合不同的微波脉宽和气压下c波段微波放电的氮气等离子体振动温度、转动温度和电子激发温度。气压在266～400pa时，等离子体的振动温度为(2700±100)k，电子激发温度为(0.32±0.015)ev，转动温度随脉宽增加而上升，实验中测得的最大转动温度为370k。偏离266～400pa时，振动温度和电子激发温度同时出现了下降的趋势，而转动温度出现了上升的趋势。这意味着电子激发温度和振动温度具有很强的关联性。