激光预处理中缺陷上的激光能量覆盖

？分析了不同预处理方式下缺陷上的激光能量的覆盖特点。理论分析表明，相同预处理效率下，单步预处理缺陷上激光能量覆盖率优于多步预处理。实验研究了电子束蒸发制备的hfo2/sio2多层高反膜的激光预处理，结果发现单步预处理后薄膜的单脉冲激光损伤阈值比相同效率的4步预处理后薄膜的单脉冲激光损伤阈值要好。采用最高能量密度为112%激光损伤阈值的5步预处理后，光学薄膜的激光损伤阈值提高了83.5%。